Các khuôn có độ chính xác cao để sao chép các thành phần quang học có cấu trúc như thấu kính Fresnel hoặc mảng lăng kính được tạo ra bằng phương pháp gia công kim cương hoặc mài chính xác. Trong một số trường hợp, chất lượng bề mặt của các thành phần được sao chép không đủ để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng về độ nhám bề mặt và độ chính xác của hình dạng đối với các ứng dụng quang học. Do đó, việc đánh bóng các cấu trúc sau đó có thể là cần thiết. Trong công việc này, các khuôn có cấu trúc đã được hoàn thiện bằng quy trình đánh bóng mài mòn mới được phát triển, bằng đánh bóng bằng laze và bằng gia công dòng chảy mài mòn. Bài báo này tập trung vào các cơ chế loại bỏ vật liệu và chất lượng bề mặt có thể đạt được trong đánh bóng mài mòn. Chất lượng bề mặt được so sánh với chất lượng đạt được bằng cách đánh bóng bằng laze và gia công dòng mài mòn.